一、日常维护（每次开机/每日）

1.外观与环境

•检查电源线、通讯线无破损、松动，接地可靠。

•设备周围≥15cm散热空间，地面干燥、无积水与腐蚀性气体。

•舱门密封圈清洁、无裂纹、无老化黏连；门开关顺畅、无卡滞。

2.真空泵系统（核心）

•油位：油镜1/2–2/3之间；油色清亮、无乳化/发黑。

•排气：排气过滤器无喷油、无大量水汽。

•待机超过3天：手动拨动真空泵风扇叶，确认无卡死；必要时空载运行10分钟预热。

3.过氧化氢（H₂O₂）供给

•卡匣/胶囊：在有效期内、无泄漏、安装到位。

•注射针：清洁、无弯折/堵塞；穿刺位置对准。

4.腔体与管路

•腔体内壁、蒸发器、支架清洁无残留、无锈迹。

•管路接头无漏气、无老化开裂。

5.开机自检

•启动后观察真空、压力、射频、注射系统自检无报错。

•打印/记录正常，参数在标准范围（真空≤0.2Torr、注射压力≈9.7–14Torr）。

二、定期保养（按周期：月/6个月/年）

1.每月保养

1.真空泵运行3–5分钟预热→排旧油→新油100mL冲洗→排净→加新油至油镜2/3。更换油过滤器、清洁油雾分离器。

2.空气滤芯：更换进气口空气滤芯（防尘/水汽）。

3.门密封：清洁门胶条，检查有无龟裂、变形；必要时更换。

4.腔体支架：清洁并检查塑料支撑架有无老化、开裂；按需更换。

5.电气与传感器检查接线端子、接地、保险丝。温度、压力、H₂O₂传感器外观与连接检查。

2.每6个月（或750次循环，设备提示）

1.深度保养套餐真空泵：换油+双过滤器+排气滤芯全套。更换H₂O₂注射滤芯、管路单向阀。更换门胶条（6颗固定螺丝，防夹装置复位）。内腔塑料支架全套更换（老化脆裂风险）。

2.压力泄漏测试（关键）腔体抽至200Torr→停止→观察5分钟，压降≤1Torr为合格；重复3次。

3.电气性能测试（OQ）电源：AC/DC输出、接地电阻。射频：等离子功率、放电稳定性。温度/压力：校准传感器与显示值。注射系统：泵压力、穿刺深度、流量校准。

4.生物监测：空负载+标准包，生物指示剂（嗜热脂肪杆菌芽孢）合格。

3.年度保养（厂家/授权工程师执行）

•全机拆解清洁：腔体、蒸发器、管路、阀组。

•真空泵大修：轴承、密封件、叶片检查/更换。

•射频电源、控制板、电磁阀、压力/真空传感器校准或更换。

•软件升级、参数备份、整机性能验证（PQ）。

三、常见故障与维修

1.注射阶段压力高（>14–15Torr，报警：INJECTIONPRESSHIGH）

•原因：注射针堵塞/弯折、卡匣未刺穿、蒸发器污染、管路漏气、真空泵效率下降。

•处理：清洁/更换注射针，调整穿刺深度。更换新卡匣，确认胶囊完好。清洁蒸发器与腔体，去除残留附着物。做压力泄漏测试，修复漏气接头/管路。检查真空泵油位/油色，必要时换油或大修。

2.开门/关门超时（CLOSE/OPENDOORTIMEOUT）

•原因：门胶条老化、门轴卡滞、安全感应器故障、门锁电机/电磁阀异常。

•处理：清洁或更换门胶条。润滑门轴，调整门平行度。检查并校准门位置感应器。测试门锁电机与电磁阀，必要时更换。

3.真空度不足（无法达到0.2Torr）

•原因：真空泵油劣化、进气/排气滤芯堵塞、管路/腔体漏气、真空泵叶片磨损。

•处理：立即更换真空泵油及滤芯。清洁/更换空气滤芯、排气过滤器。分段检漏：腔体→管路→阀组→真空泵，定位漏点并修复。真空泵大修（叶片、密封件）。

4.无等离子/射频失败（PLASMAFAILURE）

•原因：射频电源故障、电极污染/氧化、真空度不达标、H₂O₂浓度不足。

•处理：确认真空≤0.2Torr，注射压力正常。清洁腔体内电极，去除氧化层与残留。检查射频电源输出、保险丝、接线。校准或更换射频电源。

5.卡匣/胶囊未穿刺（INJECTIONSYSTEMINTERRUPTED）

•原因：注射针断/钝、驱动电机故障、卡匣安装错位、穿刺深度不足。

•处理：断电→清空卡匣→检查注射针，断针则更换注射阀总成。清洁穿刺机构，校准电机行程与穿刺深度。正确安装卡匣，确保定位到位。

四、安全规范（强制）

1.断电操作：所有保养/维修必须切断主电源并挂牌警示。

2.H₂O₂防护：戴耐化手套、护目镜；泄漏立即用清水冲洗，通风散味。

3.真空/高压风险：泄压后再拆管路/腔体；防止突然开门。

五、保养周期速查表