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最后更新时间 2017/12/14
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Gala等离子清洗机可用于清洁、刻蚀、磨砂和表面准备等。可选择40KHz、13.56MHz和2.45GHz三种射频发生器,以适应不同的清洁效率和清洁效果需要。
小型等离子清洗、刻蚀机具有成本低廉、操作灵活的特点,主要适合于大学、科研机构高科技生产单位的以下场合:
●半导体开发
●集成电路开发
●真空电子行业
●TEM、SEM样品及支架清洁
●生命科学实验

与动辄十几万美元的大型产品相比GALA等离子清洁、刻蚀机具有以下特点
1、 可以更灵活地操作,简便地改变处理气体的种类和处理程序。
2、 不会对科研人员的身体造成任何伤害。
3、 其成本对于等离子处理方法来说是微不足道的。
 

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